摘要 近三年,國產太陽能硅單晶生長設備的銷售量直線上升,從2004年的8000萬元到2006年3.5億元。目前,我國市場上有各類硅單晶生長設備1500余臺,分布在70余家生產企業。主要產...
近三年,國產太陽能硅單晶生長設備的銷售量直線上升,從2004年的8000萬元到2006年3.5億元。目前,我國市場上有各類硅單晶生長設備 1500余臺,分布在70余家生產企業。主要產品規格有DRXF-85型、TDR-80型、JRDL-800型、CZ-600型、CG6000型、FT- CZ1860型等;90%以上的設備用于太陽能硅單晶的生產,其中有1400余臺能夠使用16英寸熱系統投料45千克生長6英寸太陽能硅單晶,1000余臺能夠使用18英寸熱系統投料60千克生長8英寸硅單晶的能力,只有200多臺可以使用20英寸熱系統投料80千克—90千克比較經濟地生長8英寸的太陽能硅單晶。國產設備大部分是以半自動為主,只能實現等徑生長、收尾等過程的自動控制,仍沒有實現真空獲得、加熱熔化、引晶放肩、等徑生長、收尾等全過程自動控制。不過,經過多年的研究與經驗積累,國產設備的等徑生長控制技術比較成熟,基本能控制在±1mm左右;隨著太陽能硅單晶生長設備市場需求的不斷擴大,有多家單位也涉足了太陽能硅單晶生長設備制造的行列,生產規模在逐漸形成,目前,國內已有十余個硅單晶生長設備生產廠家,但主要的有六七家,2006年,生產銷售6英寸到8英寸太陽能硅單晶生長設備已超過500臺。
國內太陽能硅單晶生長設備生產單位具有較強的市場意識,機制靈活,反應快,有成熟的硅單晶生長工藝技術等優勢。這就使得硅單晶生長設備的推廣應用更加容易。憑借我國太陽能硅單晶生長設備研制生產單位的開發制造技術水平的提高以及和成熟的太陽能生長技術,常州華盛天龍機械有限公司、北京京儀世紀科技有限公司等單位研制的硅單晶生長設備已實現批量出口,并得到了外商的好評。