摘要:本發(fā)明公開了一種碳化硅納米紙傳感器,該傳感器為電阻型傳感器,其包括基材、碳化硅納米紙和兩個(gè)導(dǎo)電電極,基材表面覆蓋有碳化硅納米紙,導(dǎo)電電極與碳化硅納米紙緊密結(jié)合在基材表面,導(dǎo)電電極之間的間隙連續(xù)鋪覆有碳化硅納米紙;其制備方法包括:將碳化硅納米線置于一基材上,利用有機(jī)溶劑輔助壓縮法將碳化硅納米線壓縮為碳化硅納米紙,再將基材置于真空環(huán)境中,利用真空濺射法通過掩膜在基材上沉積導(dǎo)電電極即得到傳感器。本發(fā)明的傳感器可通過導(dǎo)線接入一閉合電路中形成一濕度計(jì),以測(cè)量環(huán)境相對(duì)濕度,具有耐高溫、抗氧化、抗腐蝕、高靈敏度、且多選擇性等優(yōu)點(diǎn)。
申請(qǐng)人: 中國(guó)人民解放軍國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)
地址: 410073 湖南省長(zhǎng)沙市德雅路109號(hào)中國(guó)人民解放軍國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)理學(xué)院
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李公義 馬軍 李義和 胡天嬌 彭剛 李效東
主分類號(hào): G01N27/04(2006.01)I
分類號(hào): G01N27/04(2006.01)I