摘要 超精密光學零件加工技術在包括激光核聚變項目在內的多個國家重大型號工程都有廣泛應用,提高這一技術的工作速度和精度至關重要。軍報記者從國防科技大學獲悉,由該校機電工程與自動化學院自主研...
超精密光學零件加工技術在包括激光核聚變項目在內的多個國家重大型號工程都有廣泛應用,提高這一技術的工作速度和精度至關重要。軍報記者從國防科技大學獲悉,由該校機電工程與自動化學院自主研制的新一代超精密光學零件加工設備,日前通過相關單位組織的工藝考核。考核結果表明,該套設備加工精度實現亞納米級重大突破,標志我國超精密光學零件加工技術跨入世界領先行列。超精密加工技術是先進裝備制造的關鍵技術,納米精度被譽為超精密加工技術“皇冠上的明珠”。過去,由于我國光學零件加工技術落后,無法進行大口徑、高精度、復雜面形的光學零件加工,嚴重制約相關領域的技術進步。20世紀80年代以來,該校精密工程創(chuàng)新團隊在李圣怡教授率領下,經過30多年頑強拼搏與自主 創(chuàng)新,先后突破高精度機床精密運動機構設計、光學元件亞納米全頻段誤差控制等核心關鍵技術,研制出一系列具有自主知識產權的磁流變、離子束拋光設備,打破了發(fā)達國家對超精密加工設備的技術封鎖,使我國成為繼美、德之后全面掌握高精度光學零件加工技術的國家。
據觀察者網查詢,我國正在研制的激光核聚變裝置需要大量的高精度、大口徑光學元件,要按期、保質、保量地制造這些光學元件,必須突破現有的工藝水平,采用高效的先進技術。傳統的連續(xù)拋光技術加工的大口徑光學零件進度能滿足工程要求,但存在加工工期長、對人的依賴性強的缺陷。
近年來,該校精密工程創(chuàng)新團隊在“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”國家重大科技專項二期項目和國家自然科學基金重大項目支持下,研制成功新一代離子束拋光機床與數控光順拋光機床,其最小可控材料去除量達到0.1納米。有關專家指出,這一自主創(chuàng)新成果可為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分 辨率對地觀測系統”等國家重大科技專項提供有力技術保障和裝備支撐,將直接促進相關領域關鍵技術突破,對于提升我國先進裝備制造水平具有重要意義。