摘要 爐料中含微量氧化鐵能促進碳化硅晶體長大,并能少量提高爐產量,含量達1.5%時產量最大。但鐵含量愈高,碳化硅加工成品率愈下降,并使制成的磨具發紅,產生鐵斑廢品。因此,從經濟觀點出發,...
爐料中含微量氧化鐵能促進碳化硅晶體長大,并能少量提高爐產量,含量達1.5%時產量最大。但鐵含量愈高,碳化硅加工成品率愈下降,并使制成的磨具發紅,產生鐵斑廢品。因此,從經濟觀點出發,希望爐料中含鐵愈少愈好。 鐵的存在不影響綠碳化硅的顏色,即使在結晶筒外層已經發紅,碳化硅晶體本身也能保持原有綠色。