離子束沉積法
關鍵詞 離子束沉積法|2011-06-21 14:55:53|制造技術|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 此方法是使用考福曼型離子源，使硼，氮原子或分子產(chǎn)生離子化，形成離子束，照射于基板合成立方氮化硼薄膜。通常是在離子源中通入高純度的B3N3H3氣體后就產(chǎn)生了由硼，氮原子，離子和兩原子...
此方法是使用考福曼型離子源，使硼，氮原子或分子產(chǎn)生離子化，形成離子束，照射于基板合成立方氮化硼薄膜。通常是在離子源中通入高純度的B3N3H3氣體后就產(chǎn)生了由硼，氮原子，離子和兩原子的分子的離子組成的混合離子束。該離子束在磁場和偏壓電源作用下獲得200—1000eV的能量，打在基板表面上沉積形成立方氮化硼薄膜。
① 凡本網(wǎng)注明"來源：磨料磨具網(wǎng)"的所有作品，均為河南遠發(fā)信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明"來源：磨料磨具網(wǎng)"。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
② 凡本網(wǎng)注明"來源：XXX（非磨料磨具網(wǎng)）"的作品，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責。
③ 如因作品內(nèi)容、版權和其它問題需要同本網(wǎng)聯(lián)系的，請在30日內(nèi)進行。
※ 聯(lián)系電話：0371-67667020
手機資訊
官方微信
豫公網(wǎng)安備41019702003604號