申請?zhí)? 201611159306.7
申請日: 2016.12.15
國家/省市: 中國福建(35)
公開號: 106676612A
公開日: 2017.05.17
主分類號: C25D 15/00(2006.01)
分類號: C25D 15/00(2006.01)
申請人: 華僑大學(xué)
發(fā)明人: 陸靜; 徐西鵬; 王艷輝; 羅求發(fā)
代理人: 張松亭 游學(xué)明
代理機(jī)構(gòu): 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司(35204)
申請人地址: 福建省泉州市豐澤區(qū)城東

摘要： 本發(fā)明提供一種電泳共沉積制備陶瓷結(jié)合劑超細(xì)磨料拋光盤的方法。該方法首先將超細(xì)磨料和超細(xì)陶瓷粉加入到有機(jī)溶劑中，通過磁力攪拌和超聲分散將其制備成顆粒均勻分散的懸浮液；再向懸浮液中添加高價金屬陽離子，使分散均勻的顆粒帶上正電荷；然后通過電泳共沉積的方法，使溶液中的帶電顆粒均勻地沉積在陰級基板上；最后將風(fēng)干后的基板放入箱式電阻爐中進(jìn)行固化燒結(jié)，制備出陶瓷結(jié)合劑超細(xì)磨料拋光盤。本發(fā)明提供的拋光盤制備方法簡單易行且成本低廉，不僅能使超細(xì)磨料均勻分散在陶瓷結(jié)合劑中，而且涂層厚度可控，能沉積在異形基體上。該方法制備的拋光盤在半導(dǎo)體晶圓的高效超精密加工領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。 

主權(quán)利要求
1.一種電泳共沉積制備陶瓷結(jié)合劑超細(xì)磨料拋光盤的方法，其特征在于，包括以下步驟：(1)電泳懸浮液的配置：將超細(xì)磨料和超細(xì)陶瓷粉加入到有機(jī)溶劑中，通過磁力攪拌和超聲振動，使其分散均勻成為懸浮液；然后向該懸浮液中添加高價金屬鹽溶液，并攪拌均勻；其中，超細(xì)磨料與超細(xì)陶瓷粉的體積比為1:1～1:5；懸浮液的濃度為0.1-10wt％；高價金屬鹽濃度為0.05-0.25wt％；(2)電泳共沉積：將配置好的懸浮液倒入電泳槽中，圓形不銹鋼盤作為電泳的陰極，電泳槽的底板作為電泳的陽極，接通直流電源進(jìn)行電泳；電泳沉積的電壓為20-100V，極板間距為1-10cm，沉積時間為10-30min；(3)固化燒結(jié)：將表面已經(jīng)均勻沉積涂層的不銹鋼基盤，放入箱式電阻爐中進(jìn)行固化燒結(jié)，得到磨料在結(jié)合劑中均勻分布的拋光盤；燒結(jié)溫度為500-600℃，保溫時間為20-40min。