四虎1515hhhcom-四虎1515hh丶com-四虎1515hh海外永久免费-四虎1515hh海外永久免费在线-日本道综合一本久久久88-日本道精品一区二区三区

您好 歡迎來到磨料磨具網  | 免費注冊
遠發信息:磨料磨具行業的一站式媒體平臺磨料磨具行業的一站式媒體平臺
手機資訊手機資訊
官方微信官方微信

碳化硅半導體裝置的制造方法

2017-01-11 13:59:45|行業專利|來源 中國磨料磨具網|磨料磨具協會
摘要 申請號:201610121660.4主分類號:H01L21/04(2006.01)申請人:富士電機株式會社
       申請號: 201610121660.4
       主分類號: H01L 21/04(2006.01)
       申請人: 富士電機株式會社
       發明人: 河田泰之
       摘要: 本發明提供能夠抑制碳化硅基板的表面缺陷的碳化硅半導體裝置的制造方法。首先,在碳化硅基板1的離子注入面,形成依次層疊了硅膜2以及碳膜3的雙層結構的保護膜4,進行活化熱處理。硅膜2的厚度t為1nm以上且3nm以下。碳膜3的厚度為20nm以上。通過在活化熱處理后除去碳膜3,進行其后的工序而在碳化硅基板1的離子注入面形成單元結構。在除去碳膜3后,使用XPS法以X射線入射角度45°分析碳化硅基板1的離子注入面的情況下,在碳化硅基板1的離子注入面,以使出現在結合能285eV~286eV的sp2鍵的碳的峰值強度相對于出現在結合能283eV~284eV的碳化硅的峰值強度的比值為0.4以下的方式設定保護膜厚度。
       主權利要求:1.一種碳化硅半導體裝置的制造方法,其特征在于,包括:注入工序,從以碳化硅為材料的半導體基板的表面將雜質進行離子注入;形成工序,在所述半導體基板的離子注入了雜質的表面形成保護膜;和活化工序,對被所述保護膜覆蓋的狀態的所述半導體基板進行熱處理而使所述雜質活化,在所述形成工序中,形成第一保護膜和第二保護膜的雙層結構的所述保護膜,其中,所述第一保護膜在所述半導體基板的表面上形成,并且供給因所述熱處理導致所述半導體基板中不足的原子,所述第二保護膜在所述第一保護膜的表面上形成,并且抑制在所述熱處理時硅原子從所述半導體基板以及所述第一保護膜蒸發。
  ① 凡本網注明"來源:磨料磨具網"的所有作品,均為河南遠發信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明"來源:磨料磨具網"。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
② 凡本網注明"來源:XXX(非磨料磨具網)"的作品,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責。
③ 如因作品內容、版權和其它問題需要同本網聯系的,請在30日內進行。
※ 聯系電話:0371-67667020

延伸推薦

河南博泰圣莎拉申請帶有卸壓溢流報警功能鉸鏈梁專利,達...

金融界2025年1月17日消息,國家知識產權局信息顯示,河南博泰圣莎拉機械有限公司申請一項名為“一種帶有卸壓溢流報警功能的鉸鏈梁”的專利,公開號CN119309040A,申請日期為...

日期 2025-02-11   企業新聞

光伏供給側積極出清后,哪些環節有望率先迎來價格復蘇?

伴隨光伏產業減產保價進程深入,產業鏈經歷去年重度虧損后,今年“輕裝上陣”迎來的業績企穩與估值重估,成為市場關注的焦點。一季度通常是光伏裝機的淡季,當前光伏行業仍處于減產保價階段,加...

日期 2025-02-11   行業動態

12月份中國綠碳化硅生產商開工率同比增長40.89%

12月份中國綠碳化硅生產商開工率36.56%,去年同期為25.95%,上月為44.68%,同比增長40.89%,環比下滑18.17%。2024年1-12...

日期 2025-02-11   行業動態

聊城開發區超硬材料產業再添新引擎:年產15萬套超硬復...

2月7日,2025年聊城市春季重大項目集中開工現場推進會在全市范圍內隆重舉行,聊城開發區作為重要分會場之一,同步啟動了新一輪重大項目的建設熱潮。此次集中...

日期 2025-02-11   企業新聞

Mysteel快訊:山西鋁礬土市場或穩中偏強運行

近期山西鋁礬土市場穩中偏強運行,現山西88鋁礬土塊料2650-2800元/噸,85鋁礬土塊料2350-2450元/噸,80鋁礬土塊料1800-1900元/噸,以上為出廠不含稅價格。...

日期 2025-02-11   行業動態

日本2024年10月份剛玉進口量同比增長12.63%

2024年10月份日本剛玉進口量12,270.83公噸,去年同期為10,894.39公噸,上月為12,046.86公噸,同比增長12.63%,環比增長1...

日期 2025-02-11   國際資訊

大批鋼企密集復產!30%復產時間未定!部分推遲復產!

春節期間,鋼鐵行業呈現出獨特的生產景象。高爐鋼廠大多正常生產,而獨立電弧爐鋼廠卻大面積停產檢修。隨著春節假期結束,市場逐步恢復,鋼企復產情況備受關注。多...

日期 2025-02-10   宏觀經濟

全球化學機械拋光金剛石圓盤修整器行業2025市場規模...

化學機械拋光(CMP)金剛石圓盤修整器是一種用于修整金剛石圓盤的設備,主要用于金剛石圓盤的表面修整和磨損均勻化。該設備采用CMP技術,通過在金剛石圓盤表...

日期 2025-02-10   行業動態
主站蜘蛛池模板: 欧洲性视频| 色婷婷久| 精品四虎免费观看国产高清 | 国产精品一二三区 | 亚洲国产精品67194成人 | 国产91精品一区二区视色 | 一区二区三区在线播放 | 91精品视频在线看 | 久久影视网 | 91视频国产免费 | 精品免费一区二区三区 | 91久久精品国产亚洲 | 成人特黄午夜性a一级毛片 成人婷婷 | 精品网站 | 搞黄免费视频 | 小明日韩在线看看永久区域 | 久久久久久久岛国免费播放 | 国产乱子伦视频大全 | 狠狠色成人综合首页 | 岛国精品成人 | 国产亚洲图片 | 欧美久久精品一级c片片 | aⅴ一区二区三区无卡无码 aaaaaa精品视频在线观看 | 国产香蕉久久精品综合网 | 一本色道久久88亚洲精品综合 | 91免费视频播放 | 国内精品久久久久久野外 | 国产麻豆网 | 黄色小视频在线免费看 | 久久国产成人 | 黄色片网址在线观看 | 在线亚洲欧美性天天影院 | 精品一区二区三区五区六区七区 | 久久综合香蕉久久久久久久 | 一区二区三区在线视频观看 | 91久久精品国产91性色tv | 色网站免费视频 | 精品成人免费播放国产片 | 欧美一级久久久久久久大片 | 日韩特黄毛片 | 国产99视频精品免费视频7 |