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CMP拋光液中,單一磨料和混合磨料的應(yīng)用差異

CMP拋光液中,單一磨料和混合磨料的應(yīng)用差異
CMP拋光液中,單一磨料和混合磨料的應(yīng)用差異
CMP拋光液中,單一磨料和混合磨料的應(yīng)用差異

化學(xué)機(jī)械拋光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)技術(shù)是超大規(guī)模集成電路制造工藝中的關(guān)鍵技術(shù)之一,能實(shí)現(xiàn)集成電路(IC)制造中晶圓表面全局平...

日期 2023-08-14   
半導(dǎo)體行業(yè)中的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)詳解

半導(dǎo)體行業(yè)中的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)詳解

20世紀(jì)60年代以前,半導(dǎo)體基片拋光還大都沿用機(jī)械拋光,得到的鏡面表面損傷是極其嚴(yán)重的。1965年Walsh和H...

日期 2023-08-02   
一只CMP研磨盤的自述:走進(jìn)3M的匠心工藝

一只CMP研磨盤的自述:走進(jìn)3M的匠心工藝

我是一枚CMP?研磨盤,來自3M。圓圓的身形里藏著滿滿的匠心工藝......

日期 2023-06-15   

60秒看懂化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)優(yōu)勢(shì)和構(gòu)成

60秒看懂化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)優(yōu)勢(shì)和構(gòu)成
60秒看懂化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)優(yōu)勢(shì)和構(gòu)成
60秒看懂化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)優(yōu)勢(shì)和構(gòu)成

CMP全稱為ChemicalMechanicalPolishing,即化學(xué)機(jī)械拋光,是機(jī)械削磨和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù),借助超微離子研磨作用以及漿料的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的...

日期 2023-01-10   

昭和電工擬擴(kuò)建CMP拋光液產(chǎn)能 增幅約20% 明年將陸續(xù)運(yùn)營(yíng)

據(jù)臺(tái)灣《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》援引日經(jīng)亞洲今日?qǐng)?bào)道,日本昭和電工將投資1.5億美元(200億日元)擴(kuò)建其日本及中國(guó)臺(tái)灣工廠的半導(dǎo)體CMP拋光液產(chǎn)能,產(chǎn)能總增幅約為20%,新產(chǎn)能預(yù)計(jì)...

日期 2022-08-04   
鼎龍股份擬投2億成立材料研究院 CMP拋光墊全國(guó)領(lǐng)先半年?duì)I收增近四倍

鼎龍股份擬投2億成立材料研究院 CMP拋光墊全國(guó)領(lǐng)先半年?duì)I收增近四倍

致力于解決關(guān)鍵大賽道領(lǐng)域中各類核心進(jìn)口替代類創(chuàng)新材料的“卡脖子”問題,鼎龍股份(300054.SZ)再度加碼研發(fā)...

日期 2021-09-17   

半導(dǎo)體材料CMP:集成電路制造關(guān)鍵制程

在晶圓制造材料中,CMP拋光材料占據(jù)了7%的市場(chǎng)。根據(jù)不同工藝制程和技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求,每一片晶圓在生產(chǎn)過程中都會(huì)經(jīng)歷幾道甚至幾十道的CMP拋光工藝步驟。從0.35μm技術(shù)...

日期 2020-05-19   

凱盛科技擬建CMP拋光研磨材料項(xiàng)目和手機(jī)保護(hù)蓋板二期工程項(xiàng)目

10月10日,凱盛科技(600552.SH)發(fā)布公告表示,公司控股子公司安徽中創(chuàng)擬投資8481萬(wàn)元在中創(chuàng)公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)建設(shè)年產(chǎn)3500噸CMP(拋光研磨材料)項(xiàng)目生產(chǎn)線...

日期 2018-10-11   

打破國(guó)際壟斷在望!蘇州觀勝CMP制程半導(dǎo)體研磨墊項(xiàng)目開業(yè)

12月8日上午,蘇州觀勝半導(dǎo)體科技有限公司CMP制程半導(dǎo)體研磨墊項(xiàng)目開業(yè)典禮在張家港保稅區(qū)隆重舉行,標(biāo)志著區(qū)鎮(zhèn)在半導(dǎo)體核心材料產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目建設(shè)上取得了實(shí)質(zhì)性突破。市委常委...

日期 2017-12-11   

一種用于存儲(chǔ)器硬盤的CMP漿料及使用該漿料的拋光方法

申請(qǐng)?zhí)?201610247000.0申請(qǐng)日:2016.04.19國(guó)家/省市:中國(guó)江蘇(32)公開號(hào):107304331A公開日:2017.10.31主分類號(hào):C09G1...

日期 2017-11-15   

巴斯夫與贏創(chuàng)合作研發(fā)先進(jìn)的化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)液

贏創(chuàng)和巴斯夫同意合作發(fā)展二氧化鈰研磨液來制造計(jì)算機(jī)芯片。這項(xiàng)合作計(jì)劃將運(yùn)用巴斯夫的化學(xué)專長(zhǎng)、全球營(yíng)銷和分銷能力,以及贏創(chuàng)在納米材料上的領(lǐng)先地位。研發(fā)出的研磨液預(yù)計(jì)將在2...

日期 2008-07-08   
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第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)暨2023金剛石產(chǎn)業(yè)大會(huì)

第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)暨2023金剛石...

2023年9月20日,時(shí)隔四年,期待已久的第六屆磨料磨具磨削展覽會(huì)在鄭州國(guó)際會(huì)展中心隆重開幕。本次展覽會(huì)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)有限公司、國(guó)機(jī)精工股份有限公司、中國(guó)機(jī)械國(guó)際合作股份有限公司聯(lián)合主辦。旨在推動(dòng)中國(guó)磨料磨具行業(yè)的快速發(fā)展,加強(qiáng)國(guó)內(nèi)外企業(yè)的交流與合作。

中國(guó)人造金剛石誕生60周年

中國(guó)人造金剛石誕生60周年

1963年,我國(guó)成功研制出第一顆人造金剛石,經(jīng)過幾代人的拼搏奮斗,實(shí)現(xiàn)了從無到有、從小到大、從弱到強(qiáng)的華麗蝶變。人造金剛石及其制品在我國(guó)航空航天、國(guó)防軍工、機(jī)床機(jī)械等領(lǐng)域發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。不僅如此,隨著金剛石技術(shù)的選代,金剛石民用領(lǐng)域—培育鉆石迎來了自己的大爆發(fā),中國(guó)占據(jù)了世界培育鉆石產(chǎn)量的80%以上,近幾年在國(guó)際上產(chǎn)生了巨大影響力。

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