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類金剛石膜的性能、制備及其應用

摘要：介紹了類金剛石膜的結構、制備方法和發展現狀，綜述了DLC膜的機械、電子、光學和生物學性能以及在這些領域中的應用狀況。關鍵詞：類金剛石膜，制備，性能，應用.Prop...

日期 2011-06-25

類金剛石膜

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