11月19日,極目新聞記者武漢市東西湖區柏泉街道芯豐精密有限公司獲悉,該公司最新研制的首臺12英寸晶圓減薄撕膜貼膜一體機(以下簡稱“一體機”)已出貨。作為先進封裝工藝中的核心設備,該一體機不僅實現了高精度研磨減薄與貼膜、撕膜等關鍵工序的完美結合,更以其卓越的靈活性和適應性,為半導體產業的發展注入了新的活力。
先進封裝技術對晶圓薄化和小型化的要求日益提高。芯豐精密的這款12英寸晶圓減薄撕膜貼膜一體機,正是針對這一需求而設計的。它能夠實現對晶圓的高精度研磨減薄,確保晶圓厚度滿足先進封裝技術的要求。同時,通過集成的貼膜撕膜功能,進一步提高了芯片在后續加工和封裝過程中的穩定性和可靠性。
該一體機將兩種關鍵工藝合并于一體,有效減少了一個晶圓搬運、傳輸的過程,從而避免了傳統分布式加工轉移過程中可能帶來的污染風險,降低了晶圓碎裂的概率,顯著提升了整體的加工效率,這一創新設計大大提高了設備的生產效能。這款一體機還具備出色的工藝兼容性。它能夠滿足傳統的先切割后減薄工藝需求,同時也兼容先減薄再切割的工藝,這一特點使得設備能夠靈活適應不同的加工需求,全面覆蓋市場領域。在晶圓堆疊、先進封裝、三維集成(3D IC)、AI人工智能以及背面供電等尖端技術領域,該一體機均能展示其卓越的性能和靈活性。