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官方微信摘要 金融界2024年8月4日消息，天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“，公開號CN202410874366.5，申請...
金融界 2024 年 8 月 4 日消息，天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示，浙江求是半導體設備有限公司,浙江晶盛機電股份有限公司申請一項名為“一種拋光設備“，公開號 CN202410874366.5，申請日期為 2024 年 7 月。
專利摘要顯示，本申請涉及半導體拋光技術(shù)領域，尤其是涉及一種拋光設備及檢測方法，包括：拋光盤，所述拋光盤具有工作面；拋光墊，所述拋光墊粘接設置于所述工作面上；以及檢測組件，所述檢測組件位于所述拋光盤和所述拋光墊之間，并連接于所述拋光盤或所述拋光墊上，所述檢測組件用于檢測所述拋光墊和所述拋光盤之間的間距并輸出。解決了拋光墊狀態(tài)無法檢測的技術(shù)問題，達到了實時檢測拋光墊及氣泡狀態(tài)的技術(shù)效果。
豫公網(wǎng)安備41019702003604號