“芯片劃切是芯片制造的關鍵步驟,長期以來,我國相關劃切技術落于人后,成為制約我國芯片產業發展的難題。”7月12日,記者走進鄭州三磨所高性能工具全國重點實驗室,不少科研人員正在進行實驗。相關負責人介紹,實驗室突破了超薄砂輪高效精密劃切磨損機制、極薄砂輪(0.01mm)等系列關鍵技術,研制出具有自主知識產權的半導體芯片精密劃切用系列超薄砂輪,解決了我國半導體行業芯片的精密高效劃切難題。
△CVD鉆石
企業是科技創新的主體。近年來,鄭州三磨所圍繞金剛石材料,面向航空航天、核工業、第四代半導體、超大功率器件等國家尖端技術領域迫切需求以及電子信息、汽車、家用電器、光伏、LED、風能等各行業領域的升級發展需求,突破多項關鍵技術,打破了我國高檔精密超硬材料制品主要依靠進口的局面。
2022年,鄭州三磨所緊抓新一輪創新平臺優化重組戰略機遇,原超硬材料磨具國家重點實驗室成功獲批重組建設高性能工具全國重點實驗室,并新增2個國家級創新平臺。同年,鄭州三磨所聯合鄭州大學、河南工業大學、黃河旋風、力量鉆石等高校、科研院所和企業,組建了“河南省高端超硬材料及制品創新聯合體”,很大程度上解決了行業產、學、研、用脫節的問題。在發展過程中,公司也匯聚了大量人才,培育出“高速高效精密超硬材料磨具技術研究團隊”等多個科技團隊。
△由鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司自主研發的鄭州本土品牌的鉆石——黛諾
三磨所超硬材料是鄭州科技創新的一個縮影。在科技創新賽道上,鄭州越來越多的行業和企業正在從“追隨者”向“領跑者”轉變。一項項關鍵核心技術的攻破,一個個科技企業的迅速發展,很大程度上得益于鄭州堅持改革牽引和創新驅動相結合,通過改革重塑順應創新發展的科技體制和人才機制,下好了創新驅動這步“先手棋”。
鄭州市科技局相關負責人介紹,目前,鄭州市國家級重點實驗室已達到14家,56家大院名所在鄭設立新型研發機構;規模以上工業企業研發活動覆蓋率達到83%,高新技術企業總量突破5800多家,省級以上專精特新中小企業達到1129家。