2023年12月22日,工業和信息化部發布了《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2024年版)》,切削刀具用超硬材料制品、超精密加工用超硬材料制品、超細金剛石線鋸等3種超硬材料被列入重點新材料首批次應用示范指導目錄,該目錄自2024年1月1日起實施。
文字如下:
先進無機非金屬材料——超硬材料
157、切削刀具用超硬材料制品
(1)聚晶金剛石復合片PCD:硬度≥HV4000,拱形度≤0.1 mm,厚度公差≤±0.1 mm;
(2)聚晶PCBN刀片:硬度≥3200 HV,抗沖擊韌性≥25 J,抗彎強度≥500 MPa。
158、超精密加工用超硬材料制品
(1)減薄砂輪:硬度偏差≤8%;動平衡精度≤0.2 g;晶圓加工精度:TTV≤3 μm;
(2)倒邊輪:多槽到基準面距離公差均≤0.05 mm,槽開口夾角≤1°;槽底圓弧≤0.02 mm;工件崩口≤30 μm
(3)研磨液/拋光液:拋光效率≥0.8 μm/h;表面粗糙度≤0.2 nm;
(4)陶瓷吸盤/載盤:平行度≤50 μm,平面度≤50 μm;
(5)半導體封裝用超薄切割砂輪:外徑 D(25~125)±0.05 mm、厚度 T(0.048~2.0)±0.008 mm、內孔(6~40 mm)H7,平面度≤0.07 mm、同軸度≤0.01 mm、平行度≤0.01 mm。
(6)超精密加工用超硬材料制品:實現(70/80~20/30)目粒度范圍的金剛石,按照在金屬胎體材料中空間點陣預定位設計,精準布入率達95%以上;金剛石濃度達到60%;制備的金剛石刀頭(工作齒)焊接抗彎強度≥700MPa,胎體洛氏硬度達到HRB90及以上。
159、超細金剛石線鋸
(1)碳鋼絲線鋸:碳鋼絲線鋸直徑小于48微米,斷線率≤8%,外徑誤差≤5 μm,抗拉強度≥5200 MPa,自由圈經≥50 mm;
(2)鎢絲線鋸:鎢絲線鋸直徑小于45微米,斷線率≤8%,抗拉強度≥6000 Mpa,外徑誤差≤5 μm,自由圈經≥50 mm。