中國磨料磨具網(wǎng)訊 1月10日，2019年度國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)在京揭曉，共評(píng)選出296個(gè)項(xiàng)目和12名科技專家。其中，國家自然科學(xué)獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目46項(xiàng)，國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目65項(xiàng)，國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目185項(xiàng)。

記者從獲獎(jiǎng)名單中了解到，“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備” 項(xiàng)目榮獲2019年度國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)，該項(xiàng)目主要完成人為大連理工大學(xué)的康仁科、董志剛、朱祥龍和有研半導(dǎo)體材料有限公司、鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司、無錫機(jī)床股份有限公司等單位。

據(jù)了解，“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”項(xiàng)目主要研究?jī)?nèi)容為磨床結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析、金剛石砂輪研制、硅片面型控制系統(tǒng)、硅片高效低損傷超精密磨削工藝等，并研制出國內(nèi)首臺(tái)大尺寸硅片雙主軸三工位全自動(dòng)磨床和大尺寸硅片磨拋一體化機(jī)床等設(shè)備。

項(xiàng)目主要完成人，大連理工大學(xué)朱祥龍教授表示，單晶硅片是集成電路最主要的襯底材料，超精密磨削技術(shù)在硅片的平整化和背面減薄加工得到廣泛應(yīng)用。“大尺寸硅片超精密磨削技術(shù)與裝備”填補(bǔ)國內(nèi)φ300mm硅片超精密磨削技術(shù)和設(shè)備的空白，為硅片高精度、高質(zhì)量和高效率的工業(yè)化生產(chǎn)提供技術(shù)支持。

關(guān)于國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)

國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)每年評(píng)審一次，根據(jù)最新發(fā)布的《關(guān)于深化科技獎(jiǎng)勵(lì)制度改革的方案》，規(guī)定“國家三大獎(jiǎng)”每年授獎(jiǎng)總數(shù)不超過300項(xiàng)。國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)包括國家自然科學(xué)獎(jiǎng)、國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)、國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)，即大家常說的“國家三大獎(jiǎng)”。還包括授予外籍科學(xué)家或外國組織的中華人民共和國國際科學(xué)技術(shù)合作獎(jiǎng)，和分量最重的國家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。

其中，國家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)是我國科技界最高獎(jiǎng)項(xiàng)。2019年國家最高科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)分別頒給了中國船舶集團(tuán)所屬719所名譽(yù)所長(zhǎng)黃旭華院士、中國科學(xué)院大氣物理研究所曾慶存院士。