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美企業新專利超越碳化硅材料

關鍵詞美企業，專利，碳化硅，材料|2008-12-05 00:00:00|來源中國磨料磨具網

摘要位于美國加利福亞州桑尼維爾的IntegratedMaterials,Inc.公司擁有SiFusion?專利技術，IntegratedMaterials獨特的SiFusion?多晶硅...

　　位于美國加利福亞州桑尼維爾的Integrated Materials, Inc.公司擁有SiFusion?專利技術，Integrated Materials獨特的SiFusion?多晶硅爐系列能夠減少LPCVD中的粒子數、痕量金屬污染物和高溫工藝中的錯誤，從而超越了傳統的石英和碳化硅材料。SiFusion?爐通過大幅減少例行清洗次數，提高了生產效率，降低了成本。
　　
　　
　　
　　
　　來源:鋸工業網
　　

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