摘要 此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發,同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解,蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射,一部分離子化,在基板偏壓的作用下...
此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發,同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解,蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射,一部分離子化,在基板偏壓的作用下,這些粒子和離子加速,在基板上形成立方氮化硼薄膜。
3月28日,中國超硬材料網市場總監劉小雨、市場經理高峰一行走...
公元1278年,此時的南宋就如零丁洋里的一片到處漏水的孤舟,...