申請號: 201710082541.7
申請日: 2017.02.16
國家/省市: 中國河南(41)
公開號: 106811751A
公開日: 2017.06.09
主分類號: C23F 3/06(2006.01)
分類號: C23F 3/06(2006.01); C09G 1/02(2006.01)
申請人: 河南科技學院
發明人: 蘇建修; 王占奎; 李勇峰; 姚建國; 陳佳鵬; 彭亞男; 劉振輝; 李潔靜
代理人: 王加貴
代理機構: 11569
申請人地址: 河南省新鄉市華蘭大道東段河南科技學院機電學院

摘要： 本發明提供了一種304不銹鋼化學機械拋光用拋光劑，包括下述重量份的組分：磨料1～10份，磨料分散劑1～15份，氧化劑1～20份，表面活性劑2～10份，碳納米粉0.5～5份，pH值調節劑5～20份和pH值穩定劑1～5份；所述pH值穩定劑的pH值為2。采用包括本發明提供的拋光劑的拋光液對304不銹鋼進行化學機械拋光，拋光過程中各組分穩定存在，為304不銹鋼化學機械拋光過程中提供穩定的拋光環境，有助于化學機械拋光持續穩定進行，充分發揮化學機械拋光的優勢，進而得到拋光效果良好的304不銹鋼，滿足柔性襯底的要求。

主權利要求
1.一種304不銹鋼化學機械拋光用拋光劑，包括下述重量份的組分：磨料1～10份，磨料分散劑1～15份，氧化劑1～20份，表面活性劑2～10份，潤滑劑0.5～5份，pH值調節劑5～20份和pH值穩定劑1～5份；所述pH值穩定劑的pH值為2。