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精工技研確立碳化硅晶圓研磨量產技術

精工技研確立了能夠高速、高精度研磨加工備受關注的新一代半導體底板材料——碳化硅(SiC)晶圓的技術。目前已經開始面向研究機構及元件廠商開發部門供應樣品。該技術采用了產業...

日期 2007-08-31   
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